08 Maseveon Station + LC Avgasningsenhet

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Introduktion:
1. Detta dokument beskriver de funktionella kraven avseende en:
Gedjwam Saepfx Ahvjuh
1.1. LC-låda avgasningskammare
1.2. LC-låda avgasningskammare är en (styrd vakuumkammare) där
ett aluminiumfat innehållande LC-vätska avgasas i en vakuummiljö
under en viss tidsperiod (dvs. instängd luft evakueras)
Vakuumprofil:
1.1. Tryckinställningar fritt justerbara mellan 1.10³ och 1.10⁻³ mbar
1.1.1. Mätintervall: 1.10³ – 5.10⁻⁴ mbar
1.2. Tidsinställningar fritt justerbara mellan 1 och 600 min per steg
1.2.1. Avgasningssteg (D) kan vara minuter till dagar
1.3. Evakuerings- och ventileringshastigheter måste kunna styras
1.4. Evakueringscykeln (A – D) sker automatiskt
1.4.1. Ventileringssteget (E) måste aktiveras manuellt (operatör)
1.5. Exempel på typiskt avgasningsförlopp
2. Invändigt:
2.1. Rostfritt stål (aluminium) polerad processkammare (invändigt)
2.1.1. Läcksäkerhet ska diskuteras
2.2. LC-låda (anpassning) utdragslåda för enkel in- och urlastning av LC-lådan (ingen stöt eller skakrörelse tillåten), se avsnitt 2 LC-lådans mått och bilaga 1
2.3. LC-lådan måste alltid vara i våg för att förhindra spill av LC
2.4. Kammaren ska vara lätt/snabbt åtkomlig för rengöring och/eller in-/urlastning av LC-lådan
2.5. Kammarens insida måste vara polerad för enkel rengöring och för att förebygga kontaminering och/eller fuktansamling
2.6. Möjlighet till övervakning (fönster) av avgasningscykeln, dvs. övervakning av LC-vätskans ytbeteende i LC-lådan
2.7. Ingen processkontaminering orsakat av kammarmaterial (-tillverkning)

Annonsen översattes automatiskt och vissa översättningsfel kan ha inträffat.