Generator

UHV deposition system Ebeam-sputter

UHV-deponeringssystem (ebeam-sputter)
Ncsdeuhcn Nepfx Ahwjp

UHV-deponeringssystem:
Tidigare använd för deponering av titan – guld (ebeam)
E-beam deponeringsenhet är borttagen
Kryopump och förpump är borttagna
Loadlock:
För prover, rund Ø 75 mm
Inkl. provuppvärmare
450 l/s turbomolekylärpump (Leybold)
Processkammare:
Dimensioner: Bredd 680 mm x Höjd 750 mm x Djup 590 mm
Inkl. skärmning
Dörr med dubbla o-ringar (delvis evakuerad)
Värmare
Bastrotryck lågt 10⁻⁷ mbar, högt 10⁻⁸ mbar
Elektronik:
Baseline skåp (e-beam enhet borttagen)
Gammal PLC (för pumpning/ventilering)
Gasskåp/vatten:
Diverse ventiler/flödesreducerare för gas och vatten

Observera: D&M Vacuumsystems kan uppgradera systemet för nya processer (E-beam eller Sputter), inklusive ny elektronik och programvara

EUR 55.000,-

Annonsen har översatts automatiskt. Översättningsfel kan förekomma.